カリキュラムモデル
分類番号 E114-012-3
| 訓練分野 | 電気・電子系（E） |
|---|---|
| 訓練コース | ＲＦ電源による電圧・電流制御技術 |
| 訓練対象者 | 電力変換分野において、電圧・電流制御に従事し、今後職場において今後職場のリーダーの役割を担う者 |
| 訓練目標 | ＲＦ電源の設計技術と、スパッタ装置を負荷にした場合の電圧・電流制御法を実習を通して習得する。これにより、仕事の上で抱えてい問題点の解決を図り、システムの改善や業務の効率化に関する職務の遂行ができる |
| 教科の細目 | 内容 | 訓練時間（H） |
|---|---|---|
| １．インピーダンスマッチング回路設計 | （１）インピーダンスマッチング概要 （２）入出力インピーダンス （３）反射波 （４）スミスチャートを使ったマッチング回路設計 |
4 |
| ２．ＲＦ電源設計 | （１）ＲＦ電源の構成 （２）主回路の設計 （３）主回路の素子選択 （４）変圧器設計 （５）制御回路設計 |
8 |
| ３．性能評価実習 | （１）ＲＦ電源の特性 （２）ＲＦ電源の試験方法考察 （３）ＲＦ電源の負荷特性測定 （４）ＲＦ電源の出力特性調整 |
8 |
| ４．討議 | （１）テーマの決定 （２）グループ討議 （３）検討結果発表 （４）講評 |
3 |
| ５．確認・評価 | （１）実習の全体的な講評及び確認・評価 | 1 |
| 訓練時間合計 | 24 |
| 使用器具等 | ＲＦ電源、真空チャンバー、スライダック、インピーダンスアナライザー、模擬負荷装置、オシロスコープ、電流プローブ、絶縁プローブ、回路シミュレータ |
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