カリキュラムモデル
分類番号 M114-403-3
| 訓練分野 | 機械系（M） |
|---|---|
| 訓練コース | ダイヤモンド工具による先端加工技術 |
| 訓練対象者 | 超精密加工に従事し、中核的な役割を担う者、又はその候補者。 |
| 訓練目標 | 極限工具材料としてのダイヤモンドについて物性を理解し、各種の先端加工分野における用途や加工方法等に関する技術及び技能、そして今後の展開に関する技術動向について習得する。 |
| 教科の細目 | 内容 | 訓練時間（H） |
|---|---|---|
| １．超精密加工 | （１）超精密加工とは （２）用途 |
2 |
| ２．超精密加工方法 | （１）工具材料の物性 （２）イオンビーム加工の精度 |
3 |
| ３．機械加工による鏡面仕上げ | （１）鏡面とは （２）切削、ポリッシング、ラッピング加工 |
1 |
| ４．原子レベルの加工 | （１）ＥｌａｓｔｉｃＥｍｉｓｓｉｏｎＭａｃｈｉｎｉｎｇ （２）ケミカルエッチング |
2 |
| ５．測定装置 | （１）光学系による干渉測定 （２）電子線による直接観察 （３）ＳＴＭ、ＡＦＭ |
4 |
| ６．マイクロ加工 | （１）リソグラフィーの特長 （２）露光特性 |
4 |
| ７．総括 | （１）ダイヤモンド工具の動向 （２）各種産業における精密加工 （３）質疑応答 （４）訓練コース内容のまとめ |
2 |
| 訓練時間合計 | 18 |
| 使用器具等 | 超精密ダイヤモンド研磨装置、ホーニング加工機、バランサー、ＥＭＭ、動力計、レコーダ、ダイヤモンド、ｃＢＮホイール、ＡＦＭ、ＳＴＭ、露光装置、あらさ測定装置、ノマルスキー干渉顕微鏡、ＯＨＰ、ビデオ |
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