イ．受講生アンケート

実際にデバイスを作れるので、結果をはかっていみるという楽しみがある。
装置を（自社の開発用に）使わせてほしい。
部下にも勧める。
ワークブックは知識を整理する上でとても役に立つ。書くことで頭に残る。
ほかの科目でもワークブックを作ってほしい。
ウエットエッチングの設備だけでは不十分だ。ぜひドライエッチング装置を導入してほしい。

ロ．講師所見

熱心に受講される。ときどき講師サイドから質問することが緊迫感をうむ。（指導案）
アンケートにもあるように、ワークブックを用い、書くことで記憶が定着するように見受けられる。
講義においても、実機によるデモンストレーション（指導案）が講義に変化を与え、より理解が深まるようだ。
動作原理の説明では、講師がより鮮明な物理的イメージを持てるよう勉強が必要だ。明快なイメージをもって講義すれば迫力がうまれる（指導案）。

ハ．セミナー改善点


ニ．募集状況及び受講・修了状況

「半導体プロセス実習」を含め、半導体関連のセミナーは、平成６年以来、のべ１６００人以上にのぼっている。
「半導体プロセス実習」については、平成９年度が開始年度であったが、１５名の修了者を数えている。平成１０年度については、現在実施中であるが、平成９年度と同数あるいはそれ以上の修了者が見込まれる。

ホ．評価結果