訓練実施場所と設備機器
【訓練実施場所の条件】
1.イエローブース(紫外線を遮蔽できるブース)が整備されていること。
フォトリソ工程で紫外線に感光するフォトレジストを使用するため、外部から紫外線が進入しない工夫が必要である。当校のイエローブースは、市販されている紫外線カットフィルムとアングルで製作し、天井にHEPAフィルター3台(60×60cm2)を取り付けたもので ある。大きさは露光機にもよるが、2×2m2程度あれば充分である。
2.暗室が整備されていること。
ガラス乾板の現像、定着、水洗を行うため、外光を遮断できる暗室が必要である。当校の暗室は、園芸用黒色フィルム(4層)とアングルで製作し、換気用ファンと赤色灯、及び水道水、排水のホースを取り付けたものである。大きさは、教官1名と実習生2名が入れる程度で、
(L)1.8×(W)1.5×(H)2.0 m3である。
3.洗浄ブースが整備されていること。
ガラス基板の洗浄を行うため、ドラフトチャンバーに純水の供給ができる必要がある。また、ITO膜のエッチングを行うため、排ガス用ウオータスクラバーを具備していることも必要で ある。当校の洗浄ブースは、静電防止フィルムとアングルでブースを製作し、天井にHEPA フィルター(40×40cm2)を3台取り付けたものである。その中に既製品のドラフトチ ャンバーを改造したものを3台設置している。大きさは (L)3.0×(W)1.5×(H)2.0
m3 である。純水はイオン交換樹脂とフィルターで製造している。
4.CAD用パソコンが5台整備されていること。
各パソコンは、CADソフト「花子9」がインストールされている必要がある(*)。また、表示パターンの確認用プリンターが1台以上必要である。
このCAD実習は、上記「1.~3.」が整備された実習室と異なる実習室で行うのが望ましい。
(*)CADソフトは「花子9」と同等以上のソフトであれば使用可能である。他のCADソフトを使用する場合は、「(5)-1実技関連説明書 Ⅰ.CAD花子9」に準ずるものとプロッターのドライバーを準備する必要がある。
5.プリント基板の加工、製作、電気的評価ができること。
プリント基板の穴開け作業、電子部品の取り付け作業、プリント基板の電気的評価ができる 実習室が必要である。
これらの作業は、ゴミ、ホコリ等を発生させるため、上記「1.~3.」及び「4.」と異 なる実習室が望ましい。
【設備機器一覧表】
機 器 |
台数 |
機 器 名 |
仕 様 |
CAD用パソコン
プロッター
制御用パソコン
バックライト
カメラ
三脚
露出計
スピンコータ
露光機
ホットプレート
ドラフトチャンバー
ラビング装置
加圧機
超音波洗浄機
エアーガン
オシロスコープ
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5台
1台
1台
1台
1台
1台
1台
1台
1台
1台
2台
1台
1台
1台
1台
5台
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NEC:PC-9821XP
グラフテック:FC2231-90ES
NEC:PC-VP26CWXAA1
自作機(1)
TOYO:ロボス(2)
G328
L318B
共和理研:K-359S-1
ユニオン光学:PEM-800(3)
井内盛栄堂:HP-30A-1
井内盛栄堂:CD-700S
井内盛栄堂:HF-800DX
自作機(4)
自作機(5)
井内盛栄堂:DG-1
井内盛栄堂:エアガンセット
岩通:SS-6122A
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ソフト:「花子9」インストール済み
カッテイング範囲:920×1,200
ソフト:「花子9」インストール済み
レンズ:スーパージンマHM210
ASA:4対応
回転数:4,000rpm
マスクサイズ:2.5インチ
最高温度:400℃
純水栓付き
活性炭ユニット付き
出力:45W
耐圧:4kgf/cm2
2現象、40MHZ
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(注)
(1)40W蛍光灯10本、乳白色アクリル板(5mm厚)、アングル等で製作した自作機。
(2)ガラスマスクを使用できない場合は、6×6サイズの高感度ネガフィルムで代用可能。
(3)露光機が無い場合はプリント基板作成ツールで代用することも可能である。但し、設計基準は0.5mm程度以上に変更を要する。
(4)ガーゼ(8折り)を板に固定し、戸車4個とレールで一方向に移動できるようにした自作機。
(5)2枚の板、蝶番及びビーカ(150cc程度の水入り)を組み合わせ、「てこ」の原理を利用して所定の加重が得られるようにした自作機。
【設備機器システム構成例・事例】
【器工具】
ピンセット、タイマー、ビーカ(200cc)、秤(測定値:0.1mg)、カッターナイフ
卓上ボール盤、卓上糸鋸、平ヤスリ、半田こて、ニッパー、ラジオペンチ、ハンドテスター